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露光機
CMS（フルパネル量産投影露光装置）リリース予定。
- ＜CMSの特徴＞
- ■L/S＝1.4/1.4um量産プロセスに対応
- ■650×550mmのフルパネル量産に対応
- ■ダイバイダイアライメント＆グローバルアライメント方式
- ■チップファースト工程にも対応可能
- ■ショット毎チルト機構搭載により歩留まり向上
サーマプレシジョン製露光装置は、
投影レンズ/フレームの多彩なラインナップから、
用途に応じて、露光機の構成が可能です。
- ＜主な特徴＞
- ■UV-LED 光源
- ■広焦点深度
- ■ステップ＆リピート方式と一括方式選択可能
- ■ユーザーアプリケーションに応じて「投影レンズ」と「メインフレーム」をご選択
- ■独自のオートフォーカス ユニット反りが大きいワークを生産から除外
生産機器
基板製造の全行程において必要な装置・消耗品のラインナップを提案できます
- ＜主な取扱商品＞
- ■スリットコーター
- ■ウェット処理装置（現像・エッチング・剥離など）
- ■ブラシ式基板クリーナー
- ■金属表面処理剤（プライマー膜によりレジストとの十分な密着効果など）
- ■プリント基板用次世代合紙
分析装置
・硫酸銅めっき液添加剤測定装置
ECI社製 CVS装置 QUALILAB ELITE
- ＜特徴＞
-
●有機添加剤
＝促進剤（Brightener, Accelerator, Additiveなど）
＝抑制剤（Suppressor, Carrier, Polymerなど）
＝レベラー（Levelerなど） - ●添加剤メーカ＝石原ケミカル/上村工業/奥野製薬工業/ダウケミカル/Atotech/EEJA/Enthon/LeaRonal/LPW/MacDermid/Meltex/JCU
・酸化膜測定装置
ECI社製 Surface Scan SERA QC-100＆QC-200
- ＜特徴＞
- ●酸化膜の測定が可能（Cu Sn Ag等）
- ●酸化膜の同定が可能（例: Cuの場合 Cu2O CuO Cu2S）
- ●金属の膜厚測定が可能（Cu Sn Ag Au Ni Cu6Sn5 Cu3Sn）
- ●金属表面の管理や不良解析に役立つ
- ●Ag表面解析 Ag2S の検出が可能
・加熱式ＰＣＢ反り測定装置
アクロメトリックス社製 サーモレイAXP
- ＜特徴＞
- ●JEDEC，JEITA等ﾊﾟｯｹｰｼﾞ反り規格であるシャドウモアレ原理を使用した反り測定装置
- ●加熱測定によりリフロー工程の反り値測定が可能（最大400Ｘ400ｍｍ測定エリア）
- ●オプション機能、デジタル画像相関法（DIC）による線膨張係数算出、雰囲気冷却加熱により熱サイクル試験も可能
・銅膜厚測定機
UPA社製 CD-8 ＆ MM-615
光学コンポーネント機器
・光学特注品 カスタムオーダー
露光装置からレンズ単体まで特殊対応／アンセンブリを提供します。
・UV露光照明ユニット
MULシリーズ
LED光源モジュール・メタルハライド・超高圧水銀の各ランプハウスと組み合わせて、
テレセン性や照明均一性が良好なエリアを露光照明します。
●i+h+gのブロード波長（LEDは別途）
●低コリメーション角（平行光）
●良好なテレセン性（デクリネーション角）
お客様の要求仕様（露光エリア・NA・照明強度）に合わせた光学設計・製造を行っています。
HGシリーズ
コンパクトタイプの一体型シリーズ（SHG-200 BHG-750）
●電源・コントローラ内蔵一体型
●シャッター・調光機能内蔵
●スポット～Φ150mm程度のエリアの小型露光装置・UV照明・UV硬化に最適
実験・評価用機器 露光関連
・投影露光装置 デモルーム
ラミネート・塗布ー現像ー露光まで評価可能
基板サイズは、650ｘ550mmまで対応可
- ＜評価装置＞
- 露光装置
- DFRラミネーター
- スピンコーター
- 乾燥炉/ホットプレート
- スプレー現像機
- 塗布～露光～現像まで対応可能
実験・評価用機器 CVS・アクロ関連
・スリットコーター/CVS/SERA/Akro デモルーム
スリットコーターでは基板300mmまで対応可
硫酸銅めっき液添加剤測定と加熱式ＰＣＢ反り測定が可能
- ＜評価装置＞
- Akrometrix社製反り測定装置
- ECI社製 硫酸銅めっき液添加剤測定装置
- ECI社製 酸化膜測定装置
