露光機
CMS(フルパネル量産投影露光装置)リリース予定。
- <CMSの特徴>
- ■L/S=1.4/1.4um量産プロセスに対応
- ■650×550mmのフルパネル量産に対応
- ■ダイバイダイアライメント&グローバルアライメント方式
- ■チップファースト工程にも対応可能
- ■ショット毎チルト機構搭載により歩留まり向上
サーマプレシジョン製露光装置は、
投影レンズ/フレームの多彩なラインナップから、
用途に応じて、露光機の構成が可能です。
- <主な特徴>
- ■UV-LED 光源
- ■広焦点深度
- ■ステップ&リピート方式と一括方式選択可能
- ■ユーザーアプリケーションに応じて「投影レンズ」と「メインフレーム」をご選択
- ■独自のオートフォーカス ユニット反りが大きいワークを生産から除外
生産機器
基板製造の全行程において必要な装置・消耗品のラインナップを提案できます
- <主な取扱商品>
- ■スリットコーター
- ■ウェット処理装置(現像・エッチング・剥離など)
- ■ブラシ式基板クリーナー
- ■金属表面処理剤(プライマー膜によりレジストとの十分な密着効果など)
- ■プリント基板用次世代合紙
分析装置
・硫酸銅めっき液添加剤測定装置
CVS装置 QUALILAB ELITE
- <特徴>
-
●有機添加剤
=促進剤(Brightener, Accelerator, Additiveなど)
=抑制剤(Suppressor, Carrier, Polymerなど)
=レベラー(Levelerなど) - ●添加剤メーカ=石原ケミカル/上村工業/奥野製薬工業/ダウケミカル/Atotech/EEJA/Enthon/LeaRonal/LPW/MacDermid/Meltex/JCU
・加熱式PCB反り測定装置
アクロメトリックス社製 サーモレイAXP
- <特徴>
- ●JEDEC,JEITA等パッケージ反り規格であるシャドウモアレ原理を使用した反り測定装置
- ●加熱測定によりリフロー工程の反り値測定が可能(最大400X400mm測定エリア)
- ●オプション機能、デジタル画像相関法(DIC)による線膨張係数算出、雰囲気冷却加熱により熱サイクル試験も可能
・銅膜厚測定機
UPA社製 CD-8 & MM-615
光学コンポーネント機器
・光学特注品 カスタムオーダー
露光装置からレンズ単体まで特殊対応/アンセンブリを提供します。
・UV露光照明ユニット
MULシリーズ
LED光源モジュール・メタルハライド・超高圧水銀の各ランプハウスと組み合わせて、
テレセン性や照明均一性が良好なエリアを露光照明します。
●i+h+gのブロード波長(LEDは別途)
●低コリメーション角(平行光)
●良好なテレセン性(デクリネーション角)
お客様の要求仕様(露光エリア・NA・照明強度)に合わせた光学設計・製造を行っています。
HGシリーズ
コンパクトタイプの一体型シリーズ(SHG-200 BHG-750)
●電源・コントローラ内蔵一体型
●シャッター・調光機能内蔵
●スポット~Φ150mm程度のエリアの小型露光装置・UV照明・UV硬化に最適
![COMING SOON](./img/comingsoon.png)
実験・評価用機器 露光関連
・投影露光装置 デモルーム
ラミネート・塗布ー現像ー露光まで評価可能
基板サイズは、650x550mmまで対応可
- <評価装置>
- 露光装置
- DFRラミネーター
- スピンコーター
- 乾燥炉/ホットプレート
- スプレー現像機
- 塗布~露光~現像まで対応可能
![マップ](./img/map_cat5.png)
実験・評価用機器 CVS・アクロ関連
・スリットコーター/CVS/SERA/Akro デモルーム
スリットコーターでは基板300mmまで対応可
硫酸銅めっき液添加剤測定と加熱式PCB反り測定が可能
- <評価装置>
- Akrometrix社製反り測定装置
- ECI社製 硫酸銅めっき液添加剤測定装置
- ECI社製 酸化膜測定装置
![マップ](./img/map_cat6.png)
![](./img/btn_totop.png)